POLYMEMS 2007
porteur : Benoit Guiffard- LGEF ER INSA
Polymères nanocomposites électroactifs pour le micro-actionnement et la détection magnétique - systèmes micro-électromécaniques (MEMS)

Objectif: offrir une alternative économique et compétitive à la technologie de fabrication des MEMS en substituant le film céramique par un film polymère nanocomposite électroactif, présentant des grandes déformations et forces d'actionnement sous champ électrique modéré grâce à l'incorporation dans la matrice polymère de nano-objets (charge) conducteurs ou semi-conducteurs.

PolyMEMS 2010
Porteur : Jean-Marc Chenal MATEIS UMR
Micro-actionneurs à base de nanocomposites polymères électroactifs

Objectifs : Compte tenu des avancées du projet à l'issue de la première année, les objectifs concernant Polymems2 sont
- diminuer la tension appliquée sur le micro-système tout en maintenant un niveau de déformation du composite optimal. En d'autres termes, il s'agit d'augmenter le rapport déformation/champ électrique (S/E),
- préparer un micro-système avec le nouveau film nanocomposite en conservant le même procédé de dépôt direct sur le substrat de Silicium.

Partenaires I@L :
LGEF - Laboratoire de Génie Electrique et Ferroélecricité ER INSA
MATEIS - Matériaux, Ingénierie et Sciences UMR 5510
INL - Institut des Nanotechnologie de Lyon UMR 5270
LMI - Laboratoire Multi Matériaux et Interfaces UMR 5615